一、 產品描述

　　SuperView W1光學3D表麵輪廓儀是一款用於對（duì）各種精密器（qì）件及材料表麵進行亞（yà）納米（mǐ）級測量的檢測儀（yí）器。它是以（yǐ）白光（guāng）幹涉（shè）技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表麵（miàn）進（jìn）行非接觸式掃描並建立表麵3D圖像，通過（guò）係（xì）統軟件（jiàn）對器件表麵3D圖像進行數據處理與分析，並獲（huò）取反映器件表（biǎo）麵質量（liàng）的（de）2D、3D參數，從（cóng）而（ér）實現器件表麵形貌3D測量（liàng）的（de）光（guāng）學檢測儀器。

　　SuperView W1光學3D表麵輪廓儀可廣泛應用於半導體製造及封裝工（gōng）藝檢測、3C電子玻（bō）璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及製造、汽車零（líng）部件、MEMS器件（jiàn）等超精密加工行業及航空航天、國防軍工、科研院（yuàn）所等領域中（zhōng）。可測各類從超光滑到粗糙、低反射（shè）率到高反射率的物體表麵，從納米到微（wēi）米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率（lǜ）等（děng），提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國（guó）內外標準共計300餘種2D、3D參數作為評價標準（zhǔn）。

二、產品功能

1）係統光源及壽命：雙LED光源（白光和綠光），10萬小時超（chāo）長壽命，終身無需更換；

2）測量模式：垂直掃（sǎo）描幹涉模（mó）式（VSI），相移幹涉模式（PSI），結合VSI和PSI的自適應通用測量模（mó）式（USI）；

3）多區域自動分析：自動獲取圖案化形貌區域的三維信息（高度、寬（kuān）度、麵積、體（tǐ）積、粗（cū）糙度、傾角等），同時（shí）具有自動統計分析功能。

4）具備各種類型樣品表麵微觀形貌（mào）的3D輪廓重建與測量功能；

5）具備表麵（miàn）粗糙度和微觀輪廓的檢測功能，粗糙度範圍涵蓋0.1nm到數十微米的級別；

6）具備校平（píng）、去除形狀、去噪、濾波等數據（jù）處（chù）理功能；

7）具備粗糙度分（fèn）析、輪廓分析、結構分析、功能分析等（děng）表麵（miàn）參（cān）數分（fèn）析功能；

8）具備自動對焦、自動測量、自動多區域測量（liàng）、自動拚接測量（liàng）等自動化功（gōng）能；

9）具備一鍵分析、多文件分析（xī）等快速、批量分析功能；

10）具備word、excel等數據報表導出功能。

三（sān）、應用領域

　　對各種（zhǒng）產品、部件和材料表麵的平麵度、粗糙度、波（bō）紋度、麵形輪廓、表麵缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙（xì）、台（tái）階高度、彎（wān）曲變形（xíng）情況、加（jiā）工情況等表麵形貌特征進（jìn）行測（cè）量和分析。

應用範例：

半導體.拋光矽片、減薄矽片、晶圓IC
3C電子.藍寶石玻（bō）璃粗糙度、手機金屬殼模具瑕疵、手機油（yóu）墨屏高度差
超精（jīng）密加工.光（guāng）學透鏡	精密（mì）加工.發動機葉片
精密加工.金字塔型金剛石磁頭	標準樣塊.單刻線台階、多刻線粗糙度

四、性能特色

1.高精度、高重複性

1）采用光學幹涉技術、精（jīng）密Z向掃描模（mó）塊（kuài）和（hé）優異的3D重建算法組成測量係統，保證測（cè）量精度高；

2）獨特的隔振係統，能夠有效隔離頻（pín）率2Hz以上絕大部分（fèn）振動（dòng），消除地（dì）麵振動噪（zào）聲和空氣中聲波振動噪聲，保障儀器在大部分的生產車間（jiān）環境中能穩（wěn）定使用，獲得極高的測量重複性。

2.一體化操作的測量分（fèn）析軟件（jiàn）

1）測量（liàng）與分析同界（jiè）麵操作，無須切換，測量數據（jù）自（zì）動統計，實現了快速批量測量的功能；

2）可視化窗口，便於用戶實時觀察掃描過程；

3）幾何分析、粗糙度（dù）分析、結構分（fèn）析（xī）、頻（pín）率分析、功能分析五大功能模塊齊全；

4）一鍵分析、多文件分析，自由組合分析項保存為分析（xī）模板，批量樣品一鍵分析，並提供數據分析與統計圖表功能；

5）可（kě）測依（yī）據ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300餘種（zhǒng）2D、3D參數。

3.精密操縱手（shǒu）柄

　　集成（chéng）X、Y、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄，可快速完成載物台平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。

 4.雙重防撞保護措施

　　除（chú）初（chū）級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防（fáng）撞保護外，另在Z軸上設計有機械（xiè）電子傳感（gǎn）器，當鏡頭觸碰到（dào）樣品表麵時，儀器自動進入緊急停止狀態，最大限度的保護儀器，降（jiàng）低人為操作風險。

5.雙通道氣浮（fú）隔振係統

　　既可以接入客戶現場的穩定氣源（yuán）也（yě）可以接入標配靜音空壓機，在無外接氣源的條件（jiàn）下也可穩定工作。

五、應（yīng）用案例：

六、樣（yàng）品測試報告：

　　點擊表格內圖片或文字可查看詳（xiáng）細（xì）報（bào）告數據

懇請注意：因市場發展和產品開發的需要，本產品（pǐn）資料中有關內容可能會根據實（shí）際（jì）情（qíng）況（kuàng）隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。